بررسی رفتار استاتیکی، فرکانس و ظرفیت خازنی میکروسوئیچ‌های سه صفحه‌ای با استفاده از تئوری تنش کوپل بهبود یافته

نوع مقاله : گرایش دینامیک، ارتعاشات و کنترل

نویسندگان

1 عضو هیات علمی دانشگاه مالک اشتر

2 دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه ارومیه، ارومیه، ایران

3 دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه پدافند هوایی خاتم‌الانبیاء(ص)، تهران، ایران

چکیده

با توجه به اهمیت اثرات پارامتر طول مشخصه در بررسی پایداری میکروسوئیچ‌ها، در این مقاله به بحث و بررسی پایداری میکروسوئیچ با در نظر گرفتن این اثر و با استفاده از تئوری تنش کوپل بهبود یافته پرداخته می‌شود. میکروسوئیچ مورد مطالعه در این مقاله میکروسوئیچ سه صفحه‌ای است که در آن میکروتیر بین دو الکترود ثابت معلق می‌باشد.

اخیراً چنین میکروسوئیچ‌هایی نظر برخی از محققین را به خود جلب کرده و تحقیقاتی در مورد تحلیل رفتار استاتیکی و دینامیکی این سوئیچ‌ها صورت گرفته است. برای این منظور معادله حاکم بر رفتار دینامیکی و استاتیکی میکروسوئیچ با استفاده از تئوری تنش کوپل و تئوری تیر کلاسیک ارائه می‌شود. برای حل معادله‌ی حاکم، که یک معادله غیرخطی می‌باشد؛ از روش گام به گام خطی‌سازی استفاده می‌شود. نتایج حاکم بر رفتار استاتیکی میکروسوئیچ و تعیین ولتاژ ناپایداری در شرایط مختلف نسبت ولتاژی با استفاده از هر دو تئوری تنش کوپل و تئوری تیر کلاسیک تعیین و با هم مقایسه می‌شود. علاوه بر مورد فوق؛ چگونگی تغییرات فرکانس و ظرفیت خازنی میکروسوئیچ نسبت به تغییر ولتاژ اعمالی با استفاده از تئوری تنش کوپل و تئوری تیر کلاسیک ارائه و با هم مقایسه می‌شوند.

کلیدواژه‌ها

موضوعات


عنوان مقاله [English]

Analysis of static behavior, frequency, and capacitance of three plates microswitch using modified couple stress theory

نویسندگان [English]

  • Karamat Malekzadeh fard 1
  • Hamed Mobky 2
  • Alireza pourmoayed 3
1 malek ashtar univ
2 Faculty of mechanical engineering, Urmia university, Urmia, Iran
3 Faculty of mechanical engineering, Khatamul-Anbiya Air Defense University, Tehran, Iran
چکیده [English]

This paper deals with stability analysis of microswitch with considering of length scale parameters effect’s and using of modified couple stress theory. Studied case is a three plates swith, which in it, micro beam is suspended between two stationary plates. Such microswitch has been attract attention of some investigators, and some works have been accomplished in the case of static and dynamic stability of these switches. For reaserch in this field, governing static and dynamic equation of microswitch has been extracted and presented based on couple stress and classic beam theories. Step by step linearization method has been applied for solve of the governing nonlinear equation. Obtained results of static behavior and intability voltages in various condition of voltage ratio have been obtained and compared by couple stress and classic beam theories. Furthermore variation condition of frequency and capacitance of the switch depended to variation of applied voltages have been obtained and compared using mentioned theories.

کلیدواژه‌ها [English]

  • micro switch
  • modified couple stress theory
  • instability
  • micro beam

مقالات آماده انتشار، پذیرفته شده
انتشار آنلاین از تاریخ 16 دی 1403
  • تاریخ دریافت: 01 آبان 1403
  • تاریخ بازنگری: 09 دی 1403
  • تاریخ پذیرش: 16 دی 1403
  • تاریخ انتشار: 16 دی 1403